喷淋式兆声波清洗以喷嘴的形式向被清洗物如晶圆输送带有高频超声波的清洗液，相比于槽式兆声波清洗，喷淋式兆声波清洗兆声转换效率更高，也可使晶圆表面获得的兆声能量场更加均匀。
兆声清洗振板方便用于槽式兆声清洗等批量处理晶圆的清洗系统，通过特殊耦合技术将压电换能器与石英或宝石振荡层精确匹配，以向处理槽中发射均匀高效的兆声波声场。
贴合式兆声清洗是一种吸取了槽式兆声清洗和喷淋式兆声清洗两种兆声清洗的优点并摒弃了二者缺点的更优化的兆声清洗技术。它可以以相对大的面积将兆声声能均匀的传递到晶圆表面，具有非常高的传递效率和声场均匀性，同时非常节省清洗液。
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