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喷淋式兆声波清洗喷头，是以喷嘴的形式对被清洗物进行清洗。其工作原理是将兆声波换能器嵌入到喷嘴中，使流动的水流将兆声波能量传送到被清洗物表面，从而达到清洗的目的。喷淋式兆声波清洗喷头的优势在于它是点对点直接对被清洗物表面进行处理，可以让声能焦点直接接触被清洗物的表面。相比于槽式兆声清洗机，喷淋式兆声波清洗喷头的兆声转换效率更高，而且避免了槽式由于液体深度不同而造成的声场强度不均的问题。另外，由于喷淋式兆声波清洗喷头使用的是流动的液体，不会存在有残留的脏污对被清洗物造成二次污染的问题。
图1.喷淋式兆声波清洗喷头原理示意图
相对于批量的半导体晶圆清洗来说，槽式兆声清洗无疑是清洗效率更高的选择。因此为了节约成本、提高效率，在90-65nm工艺中，通常是以槽式清洗为主。但是对于槽式兆声波清洗来说，交叉污染的风险会比较大，所以在更低线宽的工艺中，由于对于杂质的容忍度更低，单片清洗技术的占比会更高。为了避免反复清洗带来的高成本，降低废品率是晶圆生产中的一个重要手段。在一个芯片的生产过程中清洗工序是重复进行的，晶圆清洗步骤数量占整个芯片制造过程工序的30%以上。而且生产越往后推进清洗工序的数量以及重要性也会相应提升，为了保证良品率，几乎每道工序都需要进行清洗。据估计，每月十万片的DRAM工厂，1%的良率提升可为客户每年增加3000-5000万美元的利润。
图2.东方金荣超声Siansonic的喷淋式兆声波清洗喷头清洗半导体晶圆
喷淋式兆声波清洗喷头，可以搭配运动组件来实现整个二维平面的清洗，适合包括半导体晶圆在内的各种平面基材的清洗。Siansonic喷淋式兆声波清洗喷头全面采用非金属的防腐材质，可适应各种酸碱及有机溶剂，另外采用独特的换能器贴合技术，使其具有更高的稳定性和耐久性。北京东方金荣超声电器有限公司可为各种不同领域的应用，提供多种类型的兆声波清洗系统及整体解决方案。
