超声波热解法制备ITO玻璃涂层

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ITO镀膜玻璃是属于TCO玻璃的一种导电玻璃,通过在钠钙基或硅硼基基片玻璃的基础上涂覆一层氧化铟锡(ITO)薄膜而来。ITO镀膜玻璃是一种非常成熟的产品,具有透过率高、膜层牢固以及导电性好等特点,被主要应用于LCD领域,最早是应用在计算器和电子表等设备的电子显示屏上,随着电子技术的发展,ITO玻璃也逐渐在笔记本电脑和新一代液晶显示器中得到应用。 

氧化铟锡是一种由铟、锡和氧组成的化合物,它同时具有光学透明性和导电性,使之成为众多尖端技术的基石。在不断发展的先进材料和技术中,氧化铟锡已经成为一种非常重要的化合物。在电子、光学和可持续能源解决方案等领域,ITO对不同应用产生了深远的影响。制作ITO镀膜玻璃需要在玻璃基板上均匀地涂覆上一层氧化铟锡薄膜,同时玻璃基板会保持高度透明并且获得低电阻。通常,在玻璃基板上涂覆

超声波喷涂玻璃

图1.超声波喷涂设备在玻璃图涂上镀膜

ITO涂层时必须要在完全真空密闭的环境中进行,在规定的温度下对玻璃基板进行加热,同时涂覆ITO涂层。超声波热解法是通过超声波将配制成溶液的ITO材料雾化为细小的液体颗粒从而均匀地沉积的玻璃基板上的技术。超声波雾化保证了液体颗粒的粒径均匀且尺寸可控,配合高精度供液泵,可以实现几十纳米到几十微米厚度高度可控的薄膜涂覆。相比较真空沉积和溅射法而言,超声波热解法是一种更加经济高效的方法。

目前超声波热解法制备ITO玻璃涂层已经有了非常成熟的设备。北京东方金荣用于超声波热解的超声波喷涂设备集成了高精度供液系统、超声波雾化模块、高温加热台以及伺服运动系统,被广泛应用于各种纳米及亚微米级功能性涂层薄膜的研发及生产。


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