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超声波喷涂以其自身独特的优势跻身于当前主流涂层涂覆技术之林,在众多涂覆应用领域中大放光彩。为能够更好的适应不同应用工艺,超声波喷嘴也被分为不同类型,除了不同的喷涂幅宽,还有一些针对特殊喷涂工艺的喷头型号,比如D系列散射型超声波喷嘴,主要是为了适应表面带有结构的基材喷涂而开发出来的一款超声波喷嘴。
散射型超声波喷嘴,是一款“旋喷”式喷头,相对于其他类型喷头而言,喷头载气经过特殊的涡旋流道形成均匀的旋转气流,使超声波雾化后的液雾被旋转气流夹带而出时会呈旋风形式散射喷出,从而使它的喷雾形状呈螺旋状。在扩大了喷涂面积的同时还可以对立面、斜坡面等非水平表面进行涂覆。

图1.东方金荣散射型超声波喷头
散射型超声波喷嘴的典型应用是将光刻胶喷涂在半导体晶圆上,尤其适用于带有结构的晶圆喷涂。这种喷涂需求利用旋涂工艺或者常规超声波喷涂工艺都只能对完全的平面进行涂覆,在对晶圆微型结构的侧壁及夹角处涂覆的光刻胶包裹性往往差强人意,而D系列喷头由于特殊雾形却可以使光刻胶更好的在非水平表面附着并形成包裹性涂覆。而且针对湿膜工艺的涂覆场景,旋转气流也避免了重复喷涂时对已附着在表面的湿膜的流平过程造成干扰,使我们得到均匀的光滑涂层。
北京东方金荣散射型超声波喷嘴(D系列)适用于半导体光刻胶、薄膜太阳能电池、AR增透减反射膜、隔热薄膜、超疏水涂层及PCB助焊剂等多种喷涂应用。