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兆声波，顾名思义，是一种超频率的超声波，所以兆声波清洗是一种超高频的超声波清洗。和超声波清洗一样，兆声波清洗机是通过换能器，将功率超声的声能转换成机械振动，将超声波辐射到清洗液中，使液体中的微气泡在兆声波的作用下保持振动，从而破坏污染物与基材（清洗件）表面的吸附，引起污染物层的疲劳破坏并被剥离，从而达到清洗的目的。该应用主要利用的是超声波的空化效应。兆声波清洗的频率更高，为兆赫兹级别的超高频超声波。相对于低频超声波的空化效应，兆声波空化效应可以清除更小的颗粒并且能够大幅度降低对于基材的损伤。
图1.半导体晶圆
传统的兆声波清洗设备主要为喷淋式兆声波清洗设备和槽式兆声波清洗机。其中喷淋式兆声波清洗的优点在于可以直接将兆声波能量聚焦于基材表面，声能的传递效率比较高。但由于喷淋式声能辐射面积较小，所以清洗速度比较慢，而且喷淋式会需要较大的清洗液流量，造成较大的清洗液浪费。槽式兆声波清洗的优点在于兆声波换能器的面积较大，所以可以大面积辐射声场，清洗效率较高，但缺点是兆声波声场在水槽中的分布不均匀，距离换能器越远声强就会越弱，且声能的传递效率较低。
贴合式兆声波清洗设备在喷淋式兆声波清洗设备和槽式兆声波清洗的基础上，提出了更优化的解决方案：它以相对大的面积直接将兆声波声能均匀的传递到基材表面，具有非常高的传递效率和声场均匀性，提高清洗效率的同时也大大减少了清洗液的浪费，更适用于半导体晶圆等平面基材的清洗。
图2.东方金荣超声的贴合式兆声波清洗机
北京东方金荣超声的贴合式兆声波清洗设备采用第三代半导体技术的兆声波发生器，全面实现数字化高频大功率驱动。贴合式兆声波清洗机整体使用非金属高防腐材质，适用于各种酸碱及有机溶剂的清洗工序，使其更加适用于半导体领域的晶圆清洗。
